Varillas de molibdeno para la industria de semiconductores
Características de los productos
Posicionamos firmemente nuestros productos en el campo del crecimiento de cristales semiconductores, implantación de iones y equipos de deposición de películas delgadas, atendiendo principalmente a usuarios de hornos de silicio monocristalino, hornos de zafiro, implantadores de iones y equipos de recubrimiento al vacío. A diferencia de los materiales de molibdeno industriales comunes, insistimos en suministrar varillas de molibdeno de alta pureza-de grado semiconductor-, la pureza es estable en más del 99,95%, algunos lotes pueden alcanzar estándares más altos y el contenido de impurezas está estrictamente controlado a un nivel extremadamente bajo. Nacido para una línea de producción con tolerancia cero al tamaño de partículas y contaminación metálica.
Ya sea que se trate de extracción de cristales o del proceso de bombardeo de iones, lo que más temen los usuarios es la volatilización del material o la liberación de gas que contamine la cavidad. Consideramos que la "baja presión de vapor y la alta compacidad" son el punto de venta principal, lo que hace que las varillas de molibdeno sean realmente un soporte estructural confiable y un componente funcional en los equipos, lo que ayuda a las fábricas de chips a mejorar el rendimiento y la frecuencia de mantenimiento.
Pureza extremadamente alta y bajas impurezas.
Evite eficazmente los iones metálicos de las obleas contaminantes y garantice un rendimiento eléctrico estable.
Excelente estabilidad a altas temperaturas
el punto de fusión es tan alto como 2620 grados, y el crecimiento del cristal a 1400-1600 grados aún puede tener buena resistencia y resistencia a la fluencia, y el tamaño cambia muy poco.
Bajo calor y alta conductividad térmica.
Permitir coeficiente térmico, puede soportar ciclos rápidos de aumento y enfriamiento sin deformación; La buena conductividad térmica ayuda al equipo a alcanzar rápidamente el equilibrio térmico y el estrés térmico.
La superposición de estas características hace que las varillas de molibdeno sigan siendo "resistentes" a repetidos ciclos térmicos y bombardeos de iones, superando con creces el rendimiento de los metales convencionales.
Parámetro de productos
| Propiedad | Varilla Mo de alta pureza | Varilla de aleación TZM | Varilla de aleación de Mo-La |
| Nivel de pureza | Mayor o igual a 99,95% | Alto | Alto |
| Temperatura máxima de trabajo | Hasta 1600 grados + | Mayor resistencia | Excelente estabilidad |
| Expansión térmica | Muy bajo | Bajo | Más bajo |
| Desgasificación al vacío | Excelente | Bien | Superior |
| Mejor caso de uso | Crecimiento de cristales y accesorios. | Componentes de carga alta- | Piezas de vacío de alta-temperatura |
Ventajas de la aplicación
Horno de crecimiento de un solo cristal-
Como varilla de soporte para elementos calefactores, componentes de campos térmicos y soportes de crisol, se utiliza para el proceso de trefilado de cristales semiconductores como el silicio y el zafiro. La alta temperatura estable afecta directamente el control del cristal y del diámetro.
Equipo de implantación de iones.
fabrican componentes de alambre de haz de iones, escudos y estructuras fijas, y utilizan su resistencia al bombardeo y sus características de baja contaminación para garantizar una proyección precisa del haz de iones.
Sistema de deposición y pulverización de películas finas.
Como componente de base, abrazadera o electrodo auxiliar, favorece la deposición uniforme de la capa metálica y la capa barrera.
Descripción de productos
¿Qué obtienes al elegirnos?
Muchas fábricas han informado que después de usar varillas de molibdeno de alta-consistencia, el ciclo de mantenimiento del equipo se ha ampliado significativamente y la tasa de defectos del cristal también ha disminuido, lo que mejora indirectamente la eficiencia general de la producción.
La industria de los semiconductores avanza hacia procesos más pequeños y un mayor rendimiento, y la estabilidad de cada componente clave es crucial. Una varilla confiable de molibdeno de alta-pureza puede parecer una pequeña inversión, pero puede generar ahorros reales de costos y producir mejoras en la operación.
Servicio postventa-
Si su equipo enfrenta campos térmicos inestables, problemas de control de la contaminación o necesita personalizar piezas de molibdeno de tamaño especial-, no dude en contactarnos. Brindamos asistencia integral-, desde asesoramiento sobre la selección de materiales hasta mecanizado de precisión, para ayudarlo a aprovechar realmente el potencial de su equipo.
Para hacer que cada crecimiento de cristal sea más estable y cada chip más confiable, esta es nuestra intención original de pulir varillas de molibdeno.
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