¿Por qué el rendimiento del recubrimiento semiconductor está limitado por la contaminación invisible? La placa de molibdeno Mo2 de pureza ultra-es la solución clave.

La placa de molibdeno Mo2 resuelve este problema desde la raíz. Su composición química, Mo, es mayor o igual a 99. 95%, el contenido de impurezas está estrictamente controlado a un nivel extremadamente bajo y la presión de vapor al vacío es casi insignificante. Es decir, incluso si la temperatura del horno se lava por encima de 1800 grados, no se "envenenará secretamente" como otros materiales, lo que garantiza que toda la cavidad del revestimiento esté limpia hasta el nivel del laboratorio.

Tomemos como ejemplo a un cliente al que atendemos que fabrica películas delgadas y circuitos integrados fotovoltaicos. En el pasado, utilizaban placas ordinarias-resistentes al calor como sustratos objetivo de pulverización catódica, y entre el 8 y el 12 % de la capa de película de cada lote se desperdiciaba debido a la contaminación por partículas. Después de reemplazarla con nuestra placa de molibdeno Mo2, después de funcionar durante tres meses consecutivos, la densidad de partículas contaminantes cayó directamente a 1/5 de la original y la tasa de rendimiento aumentó constantemente en un 11%. Lo que es aún más exagerado es que la tasa de utilización del objetivo también es alta, porque el sustrato en sí no libera gas, el proceso de pulverización catódica es más estable y el tiempo de recubrimiento único se puede acortar en un 7%. Después de un año, el coste ahorrado sólo con las láminas desechadas supera con creces la inversión en las propias placas de molibdeno.

¿Por qué la alta pureza genera una brecha tan grande? Los recubrimientos semiconductores tienen requisitos extremadamente altos en cuanto a pureza atómica, y cualquier impureza del orden de 10 √ puede provocar cortocircuitos, fugas o degradación del rendimiento óptico. La placa de molibdeno Mo2 no solo es pura, sino que también tiene una presión de vapor extremadamente baja a alta temperatura. Con nuestra tolerancia de espesor controlable (desde ± 0,05 mm) y planitud (menor o igual a 0,5 mm/m), después del procesamiento en componentes de fuente de iones o sustratos objetivo, la precisión de la instalación es alta, el campo térmico es uniforme y el equipo apenas necesita detenerse para limpiar la cavidad.

Por supuesto, la alta pureza es sólo una de las "características asesinas" de las placas de molibdeno Mo2 en el campo de los semiconductores. Su punto de fusión es de 2623 grados, y aún puede tener una alta resistencia a 2000 grados, y su coeficiente térmico es tan bajo como 5 × 10 → →/grado, de modo que las partes estructurales en la zona caliente no se deformarán durante mucho tiempo. Según los comentarios de muchos fabricantes de equipos, después de reemplazar la placa de molibdeno Mo2, el ciclo de mantenimiento del horno se extendió de los 3 meses originales a 8-10 meses y la tasa de operación aumentó directamente a un nivel superior.

Las placas de molibdeno Mo2 con un espesor de 0,5 mm a 50 mm en nuestro almacén están almacenadas durante todo el año, y la superficie puede ser laminada en frío-brillante (adecuada para mecanizado de precisión) o laminada en caliente-negra (mejor resistencia a la oxidación). El pedido mínimo es de sólo 10kg. Tome el modelo y vuelva a instalarlo para probarlo. Después de hacer funcionar uno o dos hornos, sabrá la diferencia. Se admiten diámetros, tolerancias, tamaños e incluso procesamiento personalizado según los dibujos, y OEM OEM no es un problema.

Si todavía le preocupan los viejos problemas de la contaminación invisible del revestimiento de semiconductores, las fluctuaciones de rendimiento o el mantenimiento de los equipos, también podría centrar su atención en la "pureza del material", que es el punto que más fácilmente se pasa por alto pero que es el más mortífero. La placa de molibdeno Mo2 no se reemplaza simplemente por una placa, sino que eleva directamente la estabilidad de todo el proceso de película a un nivel superior.

¿Necesita que personalicemos el sustrato de molibdeno Mo2 de acuerdo con el plano de su equipo de recubrimiento? ¿O enviar muestras de 10 kg primero para que las verifique en el sitio? No dude en contactarnos. Entrega rápida en lotes pequeños, pruebe primero y luego compre, riesgo cero. Las fábricas de equipos semiconductores que realmente lo han utilizado entienden que en la fabricación de películas de alta-alta calidad, elegir la placa de molibdeno "contaminación cero-" adecuada suele ser el último paso para estabilizar completamente el rendimiento y las ganancias.